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外形尺寸與普通型對應型號一致
型號
01TS111
01TS112
01TS113
行程mm
50
100
150
臺面尺寸mm
導軌
線性滑塊
螺桿導程
4mm
分辨率
0.00125mm（16細分）
最大速度
25mm/s
重復定位精度
<0.003mm
運行直線度
0.003mm
0.006mm
0.01mm
最大靜轉矩
40Ncm
最大中心負載
20kg
自重
2.5kg
3kg
4kg